隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為電子工業(yè)的核心，呈現(xiàn)出蓬勃的發(fā)展態(tài)勢(shì)。目前，半導(dǎo)體技術(shù)已經(jīng)滲透到通信、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、汽車電子等多個(gè)領(lǐng)域，成為推動(dòng)現(xiàn)代社會(huì)進(jìn)步的重要力量。

半導(dǎo)體廢氣處理難點(diǎn)

難點(diǎn)一：尾氣組分復(fù)雜難以處理

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的化學(xué)物品種類繁多，所以廢氣排放中的組分也難以預(yù)測(cè)和控制。

難點(diǎn)二：高效處理難以達(dá)到

由于半導(dǎo)體廢氣中含有的有害氣體濃度較低，處理難度較大。在處理半導(dǎo)體廢氣時(shí)，需要使用高效的處理技術(shù)，對(duì)尾氣進(jìn)行充分的分解和過濾，以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。

難點(diǎn)三：成本高難以承受

半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)通常需要在處理半導(dǎo)體廢氣時(shí)進(jìn)行大量的投資和人力資源的投入，這也是半導(dǎo)體尾氣處理難以承受的另一個(gè)因素。

半導(dǎo)體廢氣處理案例，節(jié)約運(yùn)成本

半導(dǎo)體廢氣處理項(xiàng)目背景

此次項(xiàng)目的業(yè)主是一家集芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造和封裝測(cè)試于一體的半導(dǎo)體企業(yè)，總部位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)。2016年在北京投建8英寸晶圓生產(chǎn)線，可迪爾憑借多年的VOCs治理經(jīng)驗(yàn)和可靠的技術(shù)贏得客戶信賴，為客戶提供兩套沸石轉(zhuǎn)輪+TO工藝（一用一備）用于半導(dǎo)體廢氣處理，并和產(chǎn)線于2019年一同投運(yùn)。自半導(dǎo)體廢氣處理項(xiàng)目驗(yàn)收以來，系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行，持續(xù)達(dá)標(biāo)排放，滿足國(guó)家排放要求。隨著產(chǎn)能提升，現(xiàn)有系統(tǒng)（一用一備）無法滿足生產(chǎn)需求，需要增加一套沸石轉(zhuǎn)輪+TO系統(tǒng)治理半導(dǎo)體廢氣處理，與現(xiàn)有系統(tǒng)組成兩用一備，以滿足正常生產(chǎn)。

半導(dǎo)體廢氣處理廢氣參數(shù)

半導(dǎo)體廢氣處理廢氣風(fēng)量：50000m3/h

半導(dǎo)體廢氣處理廢氣濃度：100mg/m3

半導(dǎo)體廢氣處理廢氣成分：PGME、PGMEA、IPA、丙酮等非甲烷總烴

半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì)方案

半導(dǎo)體廢氣處理工藝：沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+TO（與現(xiàn)有系統(tǒng)組合成兩用一備）

半導(dǎo)體廢氣處理濃縮倍數(shù)：20倍

半導(dǎo)體廢氣處理工藝路線

半導(dǎo)體廢氣經(jīng)主工藝風(fēng)機(jī)輸送至沸石轉(zhuǎn)輪，半導(dǎo)體廢氣中的VOCs被沸石吸附后達(dá)標(biāo)排放至大氣中。再由脫附風(fēng)機(jī)輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來，再由TO風(fēng)機(jī)輸送至TO反應(yīng)器中，被氧化成CO₂和H₂O，達(dá)標(biāo)排放至大氣中。

半導(dǎo)體廢氣處理喜迎驗(yàn)收

近日，該項(xiàng)目喜迎驗(yàn)收。

第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)治理效果進(jìn)行了全面檢測(cè)和評(píng)估，治理后的非甲烷總烴排放濃度≤7mg/m3，處理效率89%，滿足上海市DB31/374-2006《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》，確保了半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的環(huán)境安全和健康。

未來，可迪爾將繼續(xù)秉承“感恩、卓越、真誠(chéng)、熱愛”的企業(yè)理念，不斷提升自身技術(shù)和服務(wù)水平，為更多企業(yè)和行業(yè)提供高效、可靠的VOCs治理解決方案，共同推動(dòng)環(huán)保事業(yè)的發(fā)展。