芯片作為電子產(chǎn)品核心部件，隨著電子產(chǎn)品的應(yīng)用越來越廣泛，芯片的需求量在不斷增長。但芯片生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生多種廢氣，這些廢氣的主要來源包括化學(xué)清洗、光刻、蝕刻、沉積和摻雜等工藝環(huán)節(jié)。廢氣成分復(fù)雜。為了滿足國家排放標(biāo)準(zhǔn)，芯片生產(chǎn)廢氣需要采取有效的處理方法。

近日，可迪爾項目一線傳來捷報，我們又一芯片生產(chǎn)廢氣處理項目完成驗收，一起來看！

芯片生產(chǎn)廢氣處理方法概述

芯片生產(chǎn)廢氣處理項目地點(diǎn)：江蘇省江陰市

芯片生產(chǎn)廢氣處理項目名稱：江蘇某芯片生產(chǎn)廢氣處理方法

芯片生產(chǎn)廢氣處理項目背景

業(yè)主是江蘇省一家從事芯片研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的企業(yè)，目前擁有一條5英寸與6英寸芯片生產(chǎn)線。在芯片生產(chǎn)過程中車間產(chǎn)生大風(fēng)量低濃度有機(jī)廢氣，風(fēng)量為40000m3/h，濃度為200mg/m3，主要成分是異丙醇、丙酮、混合二甲苯。

芯片生產(chǎn)廢氣處理方法

治理工藝：前處理+沸石轉(zhuǎn)輪+RTO

濃縮倍數(shù)：20倍

芯片生產(chǎn)廢氣處理方法工藝路線

芯片生產(chǎn)廢氣經(jīng)主工藝風(fēng)機(jī)進(jìn)入前處理，去除酸性氣體、大顆粒物及對沸石轉(zhuǎn)輪有害物質(zhì)，預(yù)處理之后的芯片生產(chǎn)廢氣隨后輸送至轉(zhuǎn)輪吸附濃縮裝置，芯片廢氣中的VOCs成分被沸石吸收后達(dá)標(biāo)排放。沸石轉(zhuǎn)輪吸附的VOCs物質(zhì)經(jīng)高溫脫附進(jìn)入三塔RTO，高濃度廢氣在RTO中被加熱至800℃以上，燃燒成為二氧化碳和水，排放至大氣。

經(jīng)芯片生產(chǎn)廢氣處理方法后的揮發(fā)性有機(jī)物排放濃度低于20mg/m3，目前已順利投產(chǎn)，并穩(wěn)定運(yùn)行。芯片生產(chǎn)廢氣驗收標(biāo)志著可迪爾在芯片生產(chǎn)廢氣處理領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)實(shí)力再獲認(rèn)可，實(shí)現(xiàn)了企業(yè)環(huán)境保護(hù)和經(jīng)濟(jì)發(fā)展的雙贏，讓我們一起走進(jìn)現(xiàn)場為芯片生產(chǎn)廢氣處理項目喝彩！