近年來(lái)，隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G與智能駕駛等新應(yīng)用的爆發(fā)，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)增長(zhǎng)，給社會(huì)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益及就業(yè)率有目共睹，但隨之而來(lái)對(duì)環(huán)境的影響也不容忽視。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的廢氣來(lái)源？

主要來(lái)源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中。這些廢氣主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。此類污染物排入大氣會(huì)造成環(huán)境污染，同時(shí)也會(huì)對(duì)工廠周圍居民身體健康造成影響。因此，需要對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣進(jìn)行凈化處理后達(dá)到排放要求。

今天我們給大家分享一下可迪爾在安徽的項(xiàng)目案例，一起來(lái)看可迪爾是如何治理半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣的。

新型電子企業(yè)的環(huán)保使命

在安徽省蕪湖市，有一家專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、加工及銷售的半導(dǎo)體企業(yè)。在進(jìn)行光刻、刻蝕、沉積等工藝時(shí)，要隨時(shí)進(jìn)行清洗以維持晶圓表面的高度潔凈，在清洗過(guò)程中揮發(fā)大量有機(jī)廢氣。為了積極響應(yīng)國(guó)家節(jié)能減排要求，為員工創(chuàng)造良好工作環(huán)境，業(yè)主新增報(bào)半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)以保證達(dá)標(biāo)排放。

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)參數(shù)

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)風(fēng)量：20000m3/h

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)濃度：300mg/m3

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)廢氣成分：丙酮、石腦油

可迪爾技術(shù)人員根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)勘察，以及多年的廢氣治理經(jīng)驗(yàn)，為業(yè)主量身打造了設(shè)計(jì)方案。

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)治理工藝：前處理+沸石轉(zhuǎn)輪+TO

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)濃縮倍數(shù)：18倍

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)工藝路線

廢氣經(jīng)前處理去除大顆粒有機(jī)物后送至沸石轉(zhuǎn)輪，廢氣中的VOCs被沸石吸附后達(dá)標(biāo)排放至大氣中，利用180℃熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來(lái)，再由TO風(fēng)機(jī)輸送至TO爐中，被氧化成CO₂和H₂O，達(dá)標(biāo)排放至大氣中，沸石得到再生，可循環(huán)使用。

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)項(xiàng)目驗(yàn)收

經(jīng)第三方檢測(cè)，經(jīng)可迪爾提供的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)處理后的非甲烷總烴≤20mg/m3，符合國(guó)家及當(dāng)?shù)嘏欧乓蟆?br/>