半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要來源于制造過程中的各個(gè)環(huán)節(jié)，特別是芯片或線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程。由于使用大量的化學(xué)藥劑導(dǎo)致?lián)]發(fā)大量有機(jī)廢氣成分復(fù)雜多樣，其中包含酸堿廢氣、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

此外，還有一些特定工序如晶體外延、干法刻蝕及CVD等，會(huì)使用到硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)等具有毒害性、窒息性及腐蝕性的高純特殊氣體，這些廢氣如果未經(jīng)處理直接排放到大氣中，會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重的污染，甚至影響人體健康。因此，需要采用高效的廢氣治理技術(shù)（如砷磷烷吸附塔），對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)特殊廢氣進(jìn)行凈化處理達(dá)到國(guó)家排放要求。

接下來給可迪爾小編會(huì)給大家詳細(xì)講解一下在半導(dǎo)體行業(yè)中特殊廢氣是如何治理的，這里需要使用到一個(gè)重要的處理設(shè)備——砷磷烷吸附塔。

砷磷烷吸附塔在半導(dǎo)體廢氣治理中的應(yīng)用

什么是砷磷烷吸附塔？

砷磷烷吸附塔是專門針對(duì)半導(dǎo)體摻雜制程工序中產(chǎn)生的砷烷、磷烷四氟化碳等有毒廢氣設(shè)計(jì)的治理設(shè)備。該設(shè)備利用化學(xué)反應(yīng)、復(fù)分解反應(yīng)等基本原理，與廢氣中的有害物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成無毒無害的化合物或復(fù)合物。這些化合物或復(fù)合物還可直接用于修路、垃圾填埋等，實(shí)現(xiàn)了廢氣的資源化利用，避免了二次污染。

砷磷烷干式吸附塔采用納米級(jí)的吸附劑作為反應(yīng)劑，砷化氫、磷化氫、乙硼烷等氣體被吸附劑分子栓結(jié)構(gòu)有效吸附，吸附劑將有害氣體強(qiáng)迫反應(yīng)成固化物 ，處理效率高達(dá)99% 。砷磷烷吸附塔通常配置一用一備模式，以確保連續(xù)穩(wěn)定的廢氣處理。吸附后的廢氣通過末端風(fēng)機(jī)負(fù)壓達(dá)標(biāo)排放，確保廢氣處理的效果滿足環(huán)保要求。

砷磷烷吸附塔的關(guān)鍵點(diǎn)在于吸附劑的選擇和使用，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)可分為初效吸附劑和主反應(yīng)藥劑兩個(gè)部分，而根據(jù)結(jié)構(gòu)形式的不同，砷磷烷吸附塔又可分為立式和臥式兩種。立式吸附塔側(cè)進(jìn)上出，臥式吸附塔側(cè)進(jìn)側(cè)出。

總的來說，砷磷烷吸附塔治理工藝是一種高效、環(huán)保的廢氣處理技術(shù)，能有效處理半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有毒有害廢氣，滿足日益嚴(yán)格的環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。